- Vacuum transfer
- Wafer movement
- Pressure control
- Contamination reduction
- Load/unload interface
- Repeatable flow
Описание
Платформа вакуумной передачи SIASUN Diagram 600 обеспечивает перемещение пластин между интерфейсами загрузки/выгрузки и технологическими модулями на основе вакуума. Поддерживает контролируемые условия давления для снижения загрязнений.
Используется преимущественно для передачи пластин внутри полупроводникового оборудования, поддерживая повторяемые производственные потоки.
Diagram 600 применяется в полупроводниковых, исследовательских и промышленных задачах вакуумной передачи.
Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.
Характеристики
Технические характеристики
Отрасли
Платформа вакуумной передачи SIASUN Diagram 600
- Regular price
- Цена по запросу
In Stock
Automation Systems
Недавно просмотренные
You haven't viewed any products yet.
